ウエハテスト事業

WAFER TEST

※ここに記載されるテスト環境は2025年1月時点の内容です。本内容は参考情報としてご利用ください。
最新のテスト環境や仕様等につきましては、弊社までお問合わせください。

メーカー	機種名	主な仕様
ADVANTEST
	T6575	125MHz I/O＝512pin SCPG, AD/DA, IDDQ 等オプション有
	T6577	125MHz I/O＝1024pin　I/O＝512pin 可能 SCPG, ALPG, AFM, AD/DA オプション有
	T2000 LS	26slot TH, I/O＝1024pin DPS500mA, PMU32, 250MDM 52slot TH, I/O＝1024pin〜1280pin DPS500mA, PMU32, 800MDM
	T7721	125MHz I/O＝256pin　PHDC＝256pin MDC HDC SQPG MTX 有り
	V93000	9slot TH PS1600B=64MB/200Mbps/128ch/TMU:2pins WSMX=HS:4units , HR:4units DPS128=HV:64ch/HC:64ch

メーカー	機種名	主な仕様
シバソク	WL22	Perpin＝64ch TM＝2ch, HV V/I 有 CBIT＝72bit～288bit AS/AVM 有り
	WL25	Perpin＝64ch μFunc＝16pin～32pin TIME＝4ch CBIT＝72bit～144bit, HV V/I 有
	WL25V	VPerpin＝64ch～128ch Digital Module＝16pin～32pin CBIT＝144bit～288bit TM＝8ch, HV V/I HV1800V 有
スパンドニクス	SX3010	ONVI_R3M＝全64pin 30V/300mA QTMR＝A/B×4ch Cbit＝256ch DHVI 有り

メーカー	機種名	主な仕様
東京エレクトロン	P-8系	(P8, P8XL) [100mm～200mm] 温度帯室温, 高温チャック, 高温AC付高低温 -40℃～150℃
東京エレクトロン	P-12系	(P-12) [200mm～300mm] エアークール仕様
東京精密	UF200・2000系	(UF200/A/SA/S/R) [125mm～200mm] (UF2000) [125mm～200mm] 高温チャック, 高温AC付高低温 -40℃～150℃
東京精密	UF3000系	(UF3000/EX/EXe) [200mm～300mm] 高温チャック, 高温AC付高低温 -40℃～150℃ 高低温 -55℃～200℃

メーカー	機種名	主な仕様
ディスコ	DFG8560	Wfサイズ 6～12inch　仕上げ砥石：#2000/6000/8000
	DFL7161	Wfサイズ 6～12inch　水溶性保護膜標準装備

メーカー	機種名	主な仕様
Camtek	Falcon530	自動外観検査装置 8, 12inch対応
Espec	PVHC-231M	クリーンオーブン
Espec	HOTEI	PAT判定システム SPAT, DPAT, SBL, SYL判定

広範囲をカバーする
最適なウエハテスト環境

ウエハテスト工程では、お客様からお預かりしたウエハの電気試験を行います。最新のテスタ、プローバ設備により、100㎜から300㎜のウエハをロジック、アナログまたはミックスドシグナル領域の試験が可能です。長年の実績と経験に基づいた試験環境と品質管理体制で安心のサービスを提供いたします。